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瀋陽拓荊國家首台國產12吋PECVD樣機出廠

日期:2011年11月24日 09:16

摘要:

  瀋陽拓荊科技承擔的國家02重大科技專項《90-65奈米等離子體增強化學氣相沉積設備的研製與應用》取得階段性突破。10月21日,瀋陽拓荊科技有限公司舉辦了“國家02重大科技專項首台國產12吋PECVD樣機出廠儀式”,瀋陽市人大常委會主任趙長義等來賓出席了該儀式,並對拓荊科技在IC製造業取得的成績提出高度評價。這是我國自主開發研製的首台12英寸PECVD設備,是關鍵IC裝備國產化的重大突破。
  設備目前已經完成3000片工藝測試和10000片可靠性測試,各項指標已經達到設計要求,設備將於近日出廠到我國最大的晶片代工企業——中芯國際進行線上測試,通過中芯國際的測試後該設備可進入市場的產業化生產12英寸PECVD設備樣機順利出廠標誌著我國在積體電路高端設備(PECVD)研究和製造領域技術達到了國際先進水準,使我國IC薄膜設備製造水準與國際IC製造業主流技術水準保持同步,完善了國內半導體重要裝備的產業鏈,打破國外產品的市場壟斷和技術壟斷,使我國有能力在IC高端設備市場上參與國際競爭,對提升我國IC製造裝備的自主創新能力和核心競爭力具有重要的戰略意義。目前,公司產品經從4-6英寸全自動拓展到8英寸全自動、2-12英寸手動、12英寸全自動PECVD全系列產品,除應用在傳統的積體電路製造領域外,還成功拓展到光波導製造領域。技術水準已經達到國際先進,填補國內空白。

 

 

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