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2008年4月29日瀋陽拓荊科技有限公司成功銷售第一台PECVD設備(CC1)

日期:2010年4月16日 09:24

摘要:

  2008年4月29日,瀋陽拓荊科技有限公司(原中科院瀋陽科學儀器研製中心有限公司PECVD事業部)成功銷售了第一台PECVD設備(CC1-150)。
  在團隊組建不到兩年的時間,團隊技術人員掌握PECVD設備(CC1-150)的全部技術,並掌控了設備生產的產業鏈。應客戶需要,完成設備氧化矽,氮化矽及氮氧矽薄膜的工藝可靠性測試,並得到客戶的高度評價,被認為是該客戶生產線上“均勻性和可靠性最好的設備” 。
  作為中國本土企業,自主生產的4-6英寸PECVD設備,相比國外同型設備,在成膜均勻性、可重複性及可靠性方面具有一定的優勢,而價格比原廠翻新的二手設備更加便宜。在設備控制系統軟硬體設計方面做了更新和升級,也成為設備一大亮點,得到客戶認可。另外,設備零部件國產化率達到70%以上,大大節約了設備的維護成本,客戶採購週期短,節約了客戶的庫存成本。
  作為本土製造的PECVD設備,能進入半導體生產線前端工藝流程,填補了國內空白,實現了替代進口,標誌我國的半導體設備製造進入了新的里程。

 

所屬類別: 銷售動態

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