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SEMICON China 2012

日期:2012年4月17日 09:23

摘要:

  瀋陽拓荊科技有限公司於2012年3月20-22日參加了SEMICON China 2012展覽暨研討會,展出了經NOVELLUS授權已在國內實現規模生產的CC1系列4-8英寸設備,自主研發擁有百分之百知識產權的PF系列12英寸設備以及面向科研需求研發的SC系列單腔設備。
  公司產品CC1設備是積體電路、光波導、LED、MEMS、TSV等業界首選的量產設備;12英寸PECVD設備專案的重大成果標誌著我國在積體電路高端設備(PECVD)研究和製造領域技術達到了國際先進水準;單腔設備根據12英寸設備的架構,採用控制系統高度集成的設計,直接開啟式的樣品載入系統受到科研院所的青睞。
  SEMICON China是中國首要的半導體行業盛事之一,囊括當今世界上半導體製造領域主要的設備及材料廠商。半導體製造業借此盛會展示其茁壯成長,加速發展的過程,也預示其強盛壯大的必然趨勢, 在此進程中拓荊科技對完善國內半導體重要裝備的產業鏈具有重大意義。
 

 

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